Rede Nacional de Microspia Electrónica

Microscópio Electrónico de Varrimento de Ultra alta resolução com emissão de campo, com sistema integrado de microanálise por raios-X (EDS - energy dispersive spectrometer) e analise de padrões de difracção de electrões retrodifundidos (EBSD - Electron Backscatter Diffraction)

 

Tipo de análise:

O Microscópio permite a análise de amostras condutoras, semicondutoras e não condutoras incluindo qualquer tipo de polímero, metal e/ou cerâmico, material orgânico.

Este microscópio de ultra elevada resolução (< 1.8 nm tanto em alto como em baixo vácuo) encontra-se particularmente desenvolvido para o estudo e caracterização de nanomateriais tais como: revestimentos de diamante, filmes finos, nanotubos de carbono, nanopartículas, semicondutores, polímeros, materiais porosos, substratos de vidro, materiais orgânicos, entre outros materiais.

Adicionalmente, o Nova NanoSEM 200 possuiu capacidades únicas de caracterização com ultra-elevada resolução em baixo vácuo, num ambiente que suprime a carga em materiais ou componentes não condutores e anula a contaminação própria da amostra ou induzida pelo feixe de electrões. Deste modo, está especialmente vocacionado para a análise de amostras carregadas e/ou contaminadas. Esta eliminação da carga também suprime a necessidade de aplicar revestimentos condutores que podem obscurecer os detalhes da imagem e interferir com a análise composicional.

Com o sistema integrado de microanálise por raios-X (EDS) e o sistema de detecção e análise de padrões de difracção de electrões rectrodifundidos (EBSD), é possível realizar aquisição e análise de espectros de raios-X desde o B até o U. Adicionalmente, podem ser obtidos mapas de perfis de raios-X por elementos e realizar análise sequencial de partículas e de regiões numa amostra. O sistema EBSD, permite o registo e análise de padrões de difracção de electrões Retrodifundidos num ponto ou numa região específica da amostra.

Características técnicas:

Sistema Integrado (EDS - energy dispersive spectrometer /EBSD - Electron Backscatter Diffraction), marca EDAX- Pegasus X4M

Resolução em alto-vácuo

Resolução em baixo-vácuo

Resolução de operação em Transmissão

Tensão de aceleração: 200V até 30 kV
 

Canhão de electrões: emissor de Schottky com operação automática

Corrente do feixe de electrões: 0.3 pA a 22 nA, ajustável continuamente

Pressão na câmara da amostra (alto vácuo): <10-4 mBar

Pressão na câmara da amostra (baixo vácuo): <2 mBar

Detectores:

 Câmara da amostra:

 Resolução do processador de imagem:

 Resolução do processador de Padrões

 Controlo de operação:

 

Sistema integrado de microanálise por raios X (EDS) e um sistema de detecção e análise de padrões de difracção de electrões rectrodifundidos (EBSD) de marca EDAX modelo Pegasus X4M com as seguintes características:

 Características do sistema EDS

 

Características do sistema EBSD

 

 

 

Entidade Gestora e Financiadora do Programa Nacional de Re-equipamento Científico (PNRC):
FCTFCT - Fundação para a Ciência e a Tecnologia
Projecto REDE/1511/RME/2005

 

NanoSEM -  FEI Nova 200 (FEG/SEM); EDAX - Pegasus X4M (EDS/EBSD)

 

   

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